MEMSデバイス部門の強み

• 小型かつ高精度なMEMSジャイロセンサ

MEMSジャイロセンサ

1999年以来、合弁会社であるSilicon Sensing Systemsにて、MEMSジャイロセンサを量産してきました。自動車の横滑り防止装置などに採用され、高い評価を得てきましたが、現在では、小型化市場および高精度市場へと展開を広げています。二足歩行ロボット、自律飛行ヘリ、GPSアンテナ、人工衛星など、様々な移動体の姿勢制御システムや安全系等の幅広い応用分野で活躍しています。
また、これらジャイロセンサを組み込んだ応用システム（小型姿勢センサユニット、ノースファインダー）や、MEMS技術を生かした新たなデバイスなどにも取り組んでいます。

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  • 圧電薄膜型MEMSジャイロセンサ
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  • 高精度MEMSジャイロセンサ
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  • 圧電薄膜型IMU
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  • 高精度IMU

※IMU(Inertial Measurement Unit):6軸慣性計測ユニット

慣性センサ応用製品

当社製品は、シリコン製のリング型振動子を機械的に振動させることにより運動情報を検知する構造となっております。本構造により他社製品では困難である高精度化が可能であり、当社では2010年頃から精度向上の研究に取り組んでまいりました。高精度化を実現したMEMSジャイロスコープは、すでに宇宙ロケットの姿勢制御や航路をナビゲーションする誘導制御の用途で使われております。同製品は従来使用されていたリングレーザー型に比べて軽量・低消費電力で、製造コストも格段に低いことから、航空宇宙、船舶、鉄道や資源掘削といった分野で更なる需要増加が見込まれております。
今後もこれまで培ってきた技術を応用し様々な製品を開発、製造してまいります。

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  • Northfinder ™ 姿勢方位基準装置（AHRS）
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  • 姿勢角検出ジャイロ装置 AAU-11
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  • 小型冗長慣性センサ MRN-01-SS(IMU)