pagetop
お問い合わせお問い合わせお問い合わせ

Language

JP EN
Design

デバイス設計

Design

MEMS デバイス設計Design

製品アイデアを形にするためのMEMSデバイスの設計段階から開発支援を行います。
デバイス設計からシミュレーションまでサポート。
当社ファブでの開発や協力会社との連携により、価値の高いサービスを提供いたします。

01多様なMEMS特有のプロセスへの対応 02対応力の高い研究・開発環境 03最終的な製品化までを見据えたデバイス設計

MEMSデバイス設計プロセス

MEMSデバイス設計プロセス

自社内において構造設計から製品化や量産化を考慮したデバイス設計を行います。
また米国に拠点を置くAMFitzgeraldとも提携関係を結び、高度な課題への解決を図る体制を整えています。

【参考】当社との提携関係を築くAMFitzgerald

構造設計・シミュレーション

お客様のご要望をお伺いし、初期の構造設計から併走・開発を行います。FEM(有限要素法)によるモデル解析を行うことで、材質ごとの荷重や振動、熱に対する挙動を分析し、最適な構造を導き出すことができます。

構造設計・シミュレーション

FEMによるモデル解析事例

構造体における複数の要素を細分化し、各接点とその間の中間接点を加えることで計算精度を高めることができます。強度解析や振動解析を行うことで製品の実現に向けた設計段階での問題点を洗い出すことが可能です。

プロセス設計・
プロトタイプ試作

シミュレーションを経て、デバイスを設計し、プロセス設計を行っていきます。
圧電素子の形成から成膜、ドライエッチング、ウェットエッチングといった過程を繰り返し、MEMSデバイスのプロトタイプの試作を行います。

プロセス設計・プロトタイプ試作
ウエハ調整・洗浄・熱酸化膜生成
レジスト塗布成膜
パターン露光・現像
エッチング
中空構造の形成
プロセス完了

当社の開発環境

各種のMEMSデバイス開発用の装置を社内に保有しているため、一元管理で試作開発を行うことができます。

実装機

プローバー

カンチレバー評価

XRD

開発事例

技術 電磁式 静電式 圧電式 その他
センサ
設計例
電磁式センサ

電磁式センサ

静電式センサ

静電式センサ

圧電式センサ

圧電式センサ

焦電式センサ

焦電式センサ

アクチュエータ
設計例
電磁式アクチュエータ

電磁式
アクチュエータ

静電式アクチュエータ

静電式
アクチュエータ

圧電式アクチュエータ

圧電式
アクチュエータ

熱式アクチュエータ

熱式
アクチュエータ