PZT圧電薄膜技術
Piezoelectric Thin Film
当社の圧電式小型MEMSジャイロにて量産しているPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)薄膜は
優れた性能指数(FOM)と高い信頼性を実現しています。またMEMSファンドリサービス事業では
2020年に圧電MEMSの8インチラインを拡張し、世界的にサービス展開しています。
PZT圧電薄膜ラインナップ
住友精密グループでは各用途に合わせた特性を持つPZT圧電膜をご用意しています。
自社製ジャイロであるCRM、CMSシリーズにて量産実績のあるPZT薄膜をベースに成膜からデバイス加工まで対応できると共に、
様々なご要望に応じた開発プロセスのご提案まで対応することができます。
MEMS アクチュエータ用途
高い圧電指数d31（PZT-O※)）
MEMS センサ用途
低い比誘電率εr（PZT-A※)）
MEMS トランスデューサ用途
低εrと高d31を併せ持つバランス型（PZT-B※)）
※)PZT-O は Poly 膜、PZT-A と PZT-B は共に Epi 膜ですが、A と B では組成比が異なっています。
| PZT-O | PZT-A・PZT-B | |
| 圧電定数d31(pm/V) | 210 ~ 240 | 150 ~ 200 |
|---|---|---|
| 比誘電率εr | ~ 900 | 260 ~ 500 |
| 膜厚（μm） | 1 ~ 5 | 2 ( 標準 ) |
| その他 | 低応力 +30MPa | 高 FOM*) > 50GPa |
高い圧電定数を示す多結晶PZT膜は、アクチュエータを始めこれまで様々な用途に採用されており、10年以上の販売実績があり、自社圧電式ジャイロでは300万個以上の量産実績があります。
これまでの実績をもとに、新たにPZTエピタキシャル膜を新規開発致しました。従来品に比べ、圧電定数の低下を抑えつつ、比誘電率を大幅に低減させています。主にトランスデューサ、センサー用途に最適な圧電膜です。
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