選ばれる理由
Reasons to Choose us
MEMS の進化はスマートフォン、ウェアラブルデバイス、自動運転等の様々な夢を実現させてきました。
その進化は止まることなく無限の可能性を 秘めています。住友精密グループはその可能性に挑戦し続けます。
MEMS∞ではMEMSデバイス設計、開発、試作、量産を検討されているお客様に最適なソリューションをご提案いたします。
1992年
MEMS 製造装置 IX200 発売
ユーザーラボ設置IX200を社内社外のMEMS開発に提供
MEMSデバイスの基礎研究を開始
1995年
シリコン深掘りエッチング装置 (Si DRIE)
販売開始
●装置開発
SPPテクノロジーズ株式会社
1998年
超小型加速度センサを製造販売開始
●デバイス開発
住友精密工業
1999年
MEMSジャイロ製造販売のため英国BAEと合弁会社を設立後に当社MEMSファンドリとして機能
●MEMSファンドリ
SILICON SENSING
2009年
慣性システム姿勢角検出器(AMU) を発売開始
慣性システム事業室
2023年
新組織MEMS∞(infinity)設立
MEMS技術を進化させながらお客様の要望に応えていく事業を開始
MEMS∞
当社が開発し、関連会社のシリコンセンシングシステムズ社が量産、販売しているジャイロであるCRM/CMSシリーズにて量産実績のあるPZT薄膜をベースに成膜からMEMSデバイス加工までお客様のニーズに合ったサービスを提供します。
PZT膜の特性を確保しつつ、MEMSアクチュエータの課題である長期信頼性をALD膜を採用し、長期信頼性を確保。
MEMS デバイス加工にて量産実績のある住友精密工業(株)グループのSPPテクノロジーズ製Predeusを用いて、垂直性、側壁粗さ、CDロスを最適化しながら、世界最高レベルの高選択比・高エッチレートを実現し、難易度の高い加工を提供致します。
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