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〒660-0891 兵庫県尼崎市扶桑町1-10
06-6489-5845
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Toward a promising future
Toward a promising future
MEMS∞はデバイスの設計、試作、量産のあらゆる過程におけるMEMSの開発・製品展開技術を持っています。
これにより、お客様は効率的にプロジェクトの展開を行うことができ、ワンストップでの製品化を実現できることが我々の最大の特徴です。
MEMSファンドリとして量産実績のあるPZT薄膜をベースにスパッタ成膜からデバイス加工までのサービスを提供するとともにSi深掘り加工（DRIE）では垂直性、側壁粗さ、CDロスを最適化しながら、世界最高レベルの高選択比・高エッチレートを実現し、難易度の高いSiエッチング加工を提供致します。
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住友精密工業株式会社
https://www.spp.co.jp/住友精密工業グループは、航空機装備品、熱交換器や油圧制御、オゾン発生装置や半導体製造装置、モーションセンサーなど、多彩な分野で独自の精密技術・精密なものづくりによるソリューションを提供しています。
住友精密工業株式会社 関係事業所
慣性システム事業室
https://www.spp.co.jp/mems/住友精密工業は業界に先駆けてMEMSの開発・製造に着手し、センサ応用システムの量産をしています。高精度化を実現しすでに宇宙ロケットの姿勢制御や航路をナビゲーションする誘導制御の用途で使われております。
グループ企業
株式会社シリコンセンシング
システムズジャパン
株式会社シリコンセンシングシステムズは、住友精密工業株式会社とCollins Aerospace社との合弁会社で、加速度センサ、ジャイロセンサ、IMUの開発、製造、販売を行っています。
SPPテクノロジーズ株式会社
https://www.spp-technologies.co.jp/SPPテクノロジーズ株式会社は、住友精密工業株式会社の100%子会社となります。
MEMS・半導体関連デバイス製造装置（ドライプロセス装置）の開発・製造・輸入・販売を行っており、国内・世界でもトップクラスのシェアを誇る半導体製造装置メーカーです。
