BUSINESS
航空機用脚システムや航空機用熱制御システムなど、航空機の飛行安全に直接関与する製品を開発・製造しています。脚システムは、防衛省向けの国産機体に関して、ほぼ全数に当社の製品が採用されています。民間航空機の分野では1997年に米Menasco社と共同でカナダのBombardier社よりCRJ700用脚システムを受注し、リージョナル機市場に本格参入しました。航空機エンジン用・空調機器用の熱制御システムは、B787ドリームライナーやA350に搭載されるRolls Royce社のエンジン用熱制御システム、B787ドリームライナーに搭載される補助動力装置(APU)向けのオイルクーラーなどを開発しました。
CRJ700/900/1000主脚(着陸時の衝撃吸収)
防衛省向けの製品は、現在防衛省が保有する機体の約8割に当社の脚システムが装備されています。民間航空機においては、国内外問わず、有名航空機メーカーの機体に採用されています。特にリージョナルジェット(中型航空機)分野での存在感は大きく、世界シェアの約15%を獲得。国内航空機の開発においては、ほとんど全てに参画しています。脚システムのインテグレーターとして技術実績を蓄積しています。
強みは高強度金属材料の精密加工技術です。他には真似のできない技術が大きな期待と信頼を得て、長年にわたり降着装置の設計・開発・生産技術・製造を手がけるに至っています。
また、環境負荷の軽減の観点から、各種装備品の電動化が進められています。現在、当社では仏 Airbus 社と脚揚降EHA(Electro-Hydrostatic Actuation)システムの共同研究開発に取り組んでいます。
Trent 1000®エンジン用FOHE
航空機エンジンの3大メーカーの1社、英Rolls Royce社に対し1980 年代以降、ほぼ全てのエンジンシリーズに熱交換器を供給しています。また、2009年にはRolls Royce社に対する当社のパフォ-マンスが評価され「Supplier of the Year」を受賞致しました。
熱マネジメント技術及び金属材料の接合技術を軸に、新しい技術やシステムを開発し、航空機の高効率・小型軽量化に貢献するとともに、空気抵抗の低減、 航空機エンジンの燃費向上・騒音低減に貢献していきます。
航空機各種装備品の電動化等により、エンジン内部の各種機器からの発熱量が増大しています。一方、排熱先の冷媒として用いられる燃料の流量が燃費性能の向上に伴って減少しています。つまり、熱制御システムにおける冷却性能の向上は重要な技術課題となっています。現在、RollsRoyce社と共同で、高効率で軽量コンパクトな次世代エンジン用熱制御システムの研究開発に取り組んでいます。
世界のフライトを支える
喜びを感じています。
設計・製造・アフターサポートを一貫して行っているのが当社の強み。航空業界において、設計権、製造権を持ち、世界の航空会社と直接コミュニケーションを取りながら運航サポートできる企業は比較的珍しいと思います。自らのサポートが世界のフライトを支えていると実感したときに嬉しさを感じます。
井原 美沙航空宇宙営業部民航営業課
航空機用熱交換器で培った技術をエネルギー分野や産業機器用途へ 展開しています。具体的には熱交換器、LNG気化装置、油圧制御機器を開発、製造しています。熱交換器は、石油化学をはじめ、天然ガス、鉄鋼、半導体などの産業で使用される、低温工業用のものから、鉄道車両や電力設備で使用される一般産業用熱交換器、さらには、燃料電池、コージェネレーション、超純度ガス製造などに用いられる、高温用熱交換器を手掛けています。LNG(液化天然ガス)気化装置は世界シェアNO.1を誇っています。油圧制御機器としては、高精度な射出成形機で使用される油圧ポンプのほか、油圧制御バルブ、クーラント機器の開発、製造を行っています。どの製品も国内だけでなく世界を市場に展開しています。
LNG気化装置
空気分離装置用熱交換器
独自に実用化したアルミ浸漬ろう付け法によって航空機用熱交換器を開発して以来、産業・社会の様々なエネルギー分野に、高性能でコンパクトな熱交換器を供給してきました。
オープンラック式LNG気化装置(ORV)は、日本初の装置を納入以来、高い技術力でグローバルなエネルギーバリューチェーンの構築に貢献しています。空気分離装置や石油化学プラント等の用途に使われる低温工業用熱交換器は、トップブランドとして高い評価を得ており、国内市場では極めて高いシェアを占め、海外市場でも大手の一角としての地位を確立しています。
高速鉄道用インバーター制御素子冷却器は、日本の各重電メーカーにメインサプライヤとして納入しており、新幹線車両用素子冷却器では国内トップシェアを誇ります。
持続可能な社会への取り組みにつながる開発として、水素社会の実現に向けた水素ステーション用ステンレス製熱交換器の開発、供給を開始しています。このステンレス製熱交換器では従来のロウ付けとは異なる拡散接合技術を採用しており、超高圧の水素を冷却するコンパクトな熱交換器として省スペース化も実現しています。
未来への取り組みとして、データセンター向けサーバー用の熱交換器を開発しました。高負荷・高発熱密度のCPUに対応可能で小型・軽量な素子冷却装置です。データセンター以外にも、太陽光、風力等の再生可能エネルギー発電のパワーコンディショナー用途も含め、次世代の戦略製品の一つとして、現在拡販を進めています。
QSポンプ
クーラントポンプ
戦後、高度成長時代の初期、国内の油圧製品への急激な需要が高まる中、英国の油圧製品メーカーから技術導入をはかり、それまで培った航空機用油圧機器製造の経験も生かして、省エネ・低脈動・低騒音の特色ある油圧ポンプを輸送機・一般産業装置など様々な用途に向けて販売しています。 中国において世界最大の射出成形機メーカーの海天集団と合弁会社を設立し、強い提携関係に基づいて事業展開しています。
機械加工に欠かせない、クーラントポンプも手掛けています。幅広い圧力帯に合わせた製品シリーズを用意しており、高度な加工が必要とされるものづくりや、加工時間の短縮に一役買っています。世界的にも知名度が高く、アジア圏においては「住友のポンプ」という愛称で呼ばれています。
日本の基盤を支える事業。
半導体事業を支える大型プラント用熱交換器や、新幹線に搭載される素子冷却器などの社会インフラを支える熱交換器を生産しています。環境負荷の少ない天然ガスや水素ステーション用の熱交換器も製作しており、社会ニーズに沿った製品で日本のインフラ事業を支え続けます。
笠原 友宏熱交換器生産部生産技術グループ
MEMS・半導体製造装置を開発・製造しています。MEMS製造に欠かせないシリコン深掘り装置は、1995年に当社が世界に先駆けて市場に投入しました。最近では、5G通信以降のIoT、ビッグデータ活用にむけて窒化ガリウム高速ICやモバイル機器向けフィルターの製造にも貢献しています。また、MEMS製造装置を活用し、高精度センサその他のMEMSデバイスの開発も行っています。さらに、水処理・半導体製造などの分野で用いられるオゾン発生装置も提供しています。今後もオゾンの持つ可能性を活かし、医療などの分野への進出も視野に入れ、製品開発を進めていきます。
シリコン深掘り装置
シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置
MEMS・半導体製造装置は豊富なラインアップが特徴。ユーザーでの開発・試作から量産まで幅広く対応しています。主力製品である、MEMS等の電子デバイス三次元加工に用いられる精密なシリコン深掘り装置は、パートナー企業であるSPTS Technologies社と合わせ、世界需要の90%(※当社調べ)を供給。(当社グループは日本市場を中心に展開)世界シェアNO.1に位置しています。また、MEMSで培った技術を基に、LED・化合物半導体デバイス製造用に高品位CVD(化学蒸着)装置、プラズマエッチング装置なども展開しています。2015年6月には米国を本拠とする半導体熱処理炉関連事業を買収。従来の半導体・パワーデバイス向け用途に留まらず、MEMS向け新プロセスなどを日米協力体制で開発し、世界展開を推進しています。
<MEMS(微小電気機械システム)とは?>
SOIやシリコンなどのウェーハに、ミクロ単位で立体的な加工を施し、基板上に回路だけでなく、機械的に動く構造体を構成したデバイスです。エアバッグ用などの自動車向けセンサ、インクジェットプリンタのノズルヘッド、スマートフォンなどのモバイル機器の高周波デバイスやカメラモジュールなど、身近な電子機器などに搭載されています。その他、様々な分野でも研究開発が進んでいます。
高精度用途ジャイロ
1999年に合弁会社であるSilicon Sensing Systemsにて、MEMSジャイロセンサ量産を開始。20年以上にわたる実績が信頼へとつながっています。当社のMEMSデバイスは自動車の横滑り防止装置などに採用されて以降、高精度市場からの引き合いが多く、「世界最高精度のMEMSジャイロ」と言われています。鉱物資源採掘、鉄道車体、GPSアンテナ、人工衛星の姿勢制御など、様々な移動体の姿勢制御システムや安全系統分野で活躍しています。また、ファンドリ事業も展開しており、顧客の先進的なMEMSデバイスの開発・受託生産を担っています。
また、Silicon Sensing Systems のジャイロセンサに住友精密工業の独自システムを組み込んだセンサ応用製品も開発しています。
一般用オゾン発生機
半導体・FPD分野向けオゾン添加超純水製造装置
強力な酸化力を持つと同時に、分解して酸素に戻るという環境にやさしいオゾンの力。オゾンは、公共分野、産業分野の水処理、製造工程に欠かせない技術です。発がん性の疑いのある有害な難分解性物質を分解除去可能な高度水処理システムを提供。上下水・プール・水族館・産業用水/排水・リサイクル水等の用排水処理向けや、食品・工業製品の生産工程向け、またパルプや繊維の漂白工程向け等に多数の納入実績を有します。
微細化・高集積化が進む最先端半導体の成膜、洗浄など各種製造プロセス用に高濃度オゾン発生装置やオゾン添加超純水製造装置を提供しています。
どこまでも可能性が広がっていく。
MEMS用途で、世界最高性能を誇る、圧電薄膜を製造しています。これは、医療診断用の超音波プローブや車載用のMEMSミラー部品に使用されるもの。これからのIoT社会の基盤を支える製品です。他にもみんなが知っている超メジャーなIT系企業から開発依頼を受けたりもしています。用途はまだまだ広がるばかり。成長が楽しみな製品と市場です。 三宅 遼磨MEMS事業室デバイス設計開発グループ