航天・宇宙

1. 降落控制系统
2. 热控制系统

油压控制

1. 冷却泵
2. 油压泵

MEMS・半导体制造设备

1. 深硅刻蚀设备
2. 氧化硅牺牲膜层刻蚀设备
3. 化合物∕ 氧化膜刻蚀设备

热控制

1. 低温工业用热交换器
2. 高温用热交换器
3. 一般产业用热交换器
4. LNG 气化设备

臭氧发生器

1. 水处理、一般产业领域
2. 半导体领域
3. 纸浆漂白与纤维漂白领域

MEMS器件

1. 微机电陀螺仪传感器
2. 惯性传感器应用产品